《微电子制造科学原理与工程技术》

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图书简介

本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物理和化学原理，还描述了用于集成电路制造的工艺设备。本书还介绍了各种先进的工艺技术，如快速热处理、下一代光刻、分子束外延和金属有机物化学气相淀积等。在此基础上本书讨论了如何将这些单

图书目录

第1篇 综述与题材 第1章 微电子制造引论 1. 1 微电子工艺：一个简单的例子 1. 2 单项工艺与工艺技术 1. 3 本课程教程 1. 4 小结